工業型原子力顯微鏡

型　號FM-Nanoview LS- AFM

更新時間2025-10-30

所屬分類工業型原子力顯微鏡

訪問次數4521

產品描述：工業型原子力顯微鏡（FM-Nanoview LS- AFM），樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測。

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產品特色：

◆ 實現商業化生產的大尺寸工業型原子力顯微鏡

◆ 樣品尺寸、重量幾乎不受限制，特別適合晶圓片、超大光柵及光學玻璃等大樣品檢測

◆ 樣品臺可拓展性強，非常便于進行多儀器聯用實現原位檢測

◆ 一鍵式自動掃描，可任意編程多個測試點實現快速自動化檢測

◆ 掃描圖像時樣品保持不動，驅動探針進行XYZ三維移動測量成像

◆ 龍門架式掃描頭設計，大理石底座，真空吸附式載物臺

◆ 一體化的機械振動減震及環境噪音屏蔽解決方案，極大降低系統噪音水平

◆ 馬達自動控制加壓電陶瓷自動探測的智能快速進針方式，保護探針及樣品

◆ 掃描器非線性校正用戶編輯器，納米表征和測量精度優于98%

技術參數：

產品系列