產品特色:
◆ 同時具備光學顯微鏡和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時工作,互不影響
◆ 可同時在普通空氣環境、液體環境、溫度控制環境、惰性氣體控制環境下工作
◆ 樣品掃描臺和激光檢測頭封閉式設計,內部可充放特殊氣體,無需增加密封罩
◆ 激光檢測采用了垂直光路設計,配合氣液兩用型探針架可在液體下工作
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品
◆ 超高倍光學定位系統,實現探針和樣品掃描區域精確定位
◆ 集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優于98%
技術參數:
工作模式 | 接觸模式、輕敲模式 | 照明方式 | 柯勒照明系統 |
選配模式 | 摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力 | 光學調焦 | 粗微動手動調焦 |
力譜曲線 | F-Z力曲線、RMS-Z曲線 | 攝像頭 | 500萬像素CMOS傳感器 |
工作環境 | 空氣/液體、惰性氣體、加熱/制冷環境 | 顯示屏 | 10.1寸平板顯示器,帶圖像測量功能 |
XY掃描范圍 | 50×50um,可選20×20um,100×100um | 加熱裝置 | 溫度控制范圍室溫~250℃(選配) |
Z掃描范圍 | 5um,可選2.5um,10um | 冷熱一體臺 | 溫度控制范圍-20℃~220℃(選配) |
掃描分辨率 | 橫向0.2nm,縱向0.05nm | 掃描速率 | 0.6Hz~30Hz |
樣品尺寸 | Φ≤68mm,H≤20mm | 掃描角度 | 0~360° |
樣品臺行程 | 25×25mm | 運行環境 | Windows XP/7/8/10操作系統 |
光學物鏡 | 5X/10X/20X/50X平場復消色差物鏡 | 通信接口 | USB2.0/3.0 |
光學目鏡 | 10X |